金融界2025年1月22日音讯，国家知识产权局信息数据显现，宁波恒普技能股份有限公司获得一项名为“一种晶圆进给料运送体系”的专利，授权公告号CN 222313287 U，请求日期为2024年1月。
专利摘要显现，本实用新型揭露一种晶圆进给料运送体系，触及常压化学堆积技能领域，包含设备本体，设备本体内设置有晶圆搭载渠道、机器人、晶圆冷却旋转渠道、晶圆进步体系、主支撑板、榜首直线导轨、榜首驱动电机、晶圆加热组件、晶圆加热组件支撑和真空产生体系。本实用新型中的体系，经过设置高纯石英、Si或SiC的非金属资料层，避免晶圆遭到污染；晶圆经过晶圆进步体系和榜首直线导轨移出后，在晶圆加热组件下独自进行堆积；每块晶圆的堆积面一次性完结薄膜堆积，脱节气体分散和传输的约束堆积薄膜的厚度和质量均匀性体现更好选用高纯石英、机器人等运送办法，处于封闭体系中，阻隔人员对晶圆的污染，进步晶圆镀膜功率和设备集成度。
天眼查资料显现，宁波恒普技能股份有限公司，成立于2011年，坐落宁波市，是一家以从事研讨和实验开展为主的企业。企业注册本钱3000万人民币，实缴本钱3000万人民币。经过天眼查大数据分析，宁波恒普技能股份有限公司共对外出资了10家企业，参加招投标项目25次，知识产权方面有商标信息6条，专利信息237条，此外企业还具有行政许可9个。
